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周硕握过了手,四下打量一下问道:“这是哪里?我以为我们是要在办公室见面。”
周硕呵呵笑了一下,指着自己身后说道:“这是我们泛翰集团进行光刻机研究的实验室,之前鹤田先生想要参观沉浸式光刻技术,我看择日不如撞日,就今天好了。”
“你要带我们参观泛翰集团的沉浸式光刻技术?”鹤田瞪大了眼睛,不可置信的问道。
“没错,我邀请鹤田先生和白石经理,一起参观我们泛翰研究院的实验室。”周硕笑眯眯的肯定回答道。
鹤田和白石茉莉奈对视一眼,纷纷看到了对方眼里的诧异。在这个特殊的时间点,眼看着双方合作可能流产的时候,周硕竟然安排他们参观泛翰集团最大的底牌!这是为什么?
带着这样的疑惑,鹤田和白石茉莉奈双双跟着周硕走进了地下实验室的大门。
经过穿戴防尘服和除尘通道之后,三个人进入了实验室内部。鹤田望着这庞大的地下空间,不由得有些眼晕。事实上这种密闭的地下空间,也确实比较容易引起一些人的心理反应。
周硕瓮声瓮气的声音,从防尘面罩后面陆陆续续的传了出来:“这是泛翰研究所的蜂巢实验室,负责光刻机沉浸式技术的研发。沉浸式的研发要点总共有三个部分,分别是光源、镜头和防水光刻胶的研制。”
他边走边侃侃而谈道:“我们的光源使用的是365nm的i线弧光灯光源,这样在经过纯水的折射之后,它的波长就变成了260nm。而纯水,必须是9个9纯度的去离子水。至于说沉浸式光刻最大的技术障碍,那肯定就是防水光刻胶了。普通光刻胶是无法在水中保持不扩散的,所以必须使用特制的……”
周硕倒是不怎么在乎保密的问题,如果来两个人看两眼、听两句科普就能把技术抄了去,那这种技术也没有什么保密的必要了。沉浸式光刻技术在历史上可是持续研究了十多年,才逐渐投入使用的技术。真要是形成论文,绝不会少于一个尼康运资料的木箱。在后世是几种影响线宽因素中,非常重要的一个方面。
他们向实�
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